コガネイ F-EPTシリーズ
半導体ウエハーの微細化に対応した次世代電動ポンプ。 世界初（注）CTポンプの構造開発、低発塵、脱泡性良好、シンプルな構造で高精度。
F-EPTシリーズ F-EPT06A1タイプ
- ダイヤフラム、ベローズに続き、新構造の定量吐出ポンプを採用
- 使用液：フォトレジスト、純水、薬液（可燃物不可）
| 最大吐出圧力 | 吐き出し量 ml | 吐き出す。 入力流量 ml/s | |
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| 0.15MPa | 0.5～6 | 0.1～4 |
F-EPTシリーズ F-EPT10A1タイプ
- ダイヤフラム、ベローズに続き、新構造の定量吐出ポンプを採用
- 使用液：フォトレジスト、純水、薬液（可燃物不可）
| 最大吐出圧力 | 吐き出し量 ml | 吐き出す。 入力流量 ml/s | |
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| 0.15MPa | 0.5～10 | 0.1～4 |