質量流量計

専門

MicroFlow社の質量流量計シリーズは、当社が独自に開発した熱式流量センサー「μFセンサー（Micro Flow Sensor）」を検出部に使用した質量流量計です。 }
マイクロマシン技術による超微細流量センサーと高度な流路設計技術の融合により、これまでにない高精度と幅広い調整比を低価格で実現しました。 }

生産工程や実験装置などで使用される燃料ガス、各種産業ガス、工場用空気の流量制御や各工場の消費量管理に適しています。

マスフロー検出

空気・ガスの使用温度・圧力に関わらず、流量を計測し、基準状態に換算することができます。
（※標準状態での流量は、1気圧、0℃（または20℃）での体積流量です。）

広い測定範囲

最大計測流量の低流量域に比べ、一般的なガス流量計では検出が困難ですが、μFセンサーを搭載することで、幅広い計測・制御が実現できます。質量流量計 CMS の調整比は 100:1、大流量質量流量計 CML の調整比は 160:1 (測定範囲は 1,280:1) です。
空気やガスの使用量管理、省エネのための空気漏れ管理に最適です。

迅速な対応

センサがガスに直接接触して検出するため、高速応答を実現します。

低圧損構造

μFセンサは流路壁面に設置されているため、流体の流れを妨げる構造物が少なく、圧力損失が少ないです。低圧ガスの流れの検出・制御に最適です。

高精度

質量流量計はRD（読み）精度規定を採用しており、広い流量範囲で高精度な検出を実現しています。

多彩な機能

制御装置に蓄積されたマイコンの技術により、従来の質量流量計にはないさまざまな機能を搭載。 }
瞬時・積算流量表示、ガス種切替機能、上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など（※製品により異なります）

幅広い製品

用途に応じて0～500mL/min～0～1600m³/hの幅広い流量レンジの製品を取り揃えております。