湿式・特殊用途

専門

主に半導体や液晶の製造工程で使用される薬液や純水などの液面や漏れなどの特定用途に使用される光センサシリーズ、ダイマッチング用光ファイバユニット、小物部品の落下検出用光ファイバユニットLEDとして。

主に半導体・液晶製造工程、洗浄工程、熱処理工程で使用される薬液・純水等の液面・漏れ検出に使用され、独自の光学系により安定した検出を実現し、省スペース、フェイル対応を実現。安全。 ウエハーマッチングに使用する狭ビーム光ファイバーユニットと、LEDなどの微小部品の落下検出に使用する光ファイバーユニットは、用途に応じた光学設計と筐体設計を採用し、高い検出性能と省スペースを一体化し、調整工数を削減、メンテナンス性も向上。